가이드 방식

1. 크로스롤러 가이드

크로스롤러 가이드 란, 90°의 V홈을 가지는 롤러 레이스와 원통 굴림대로 구성된 안내 방식입니다.(그림-1 참조, 롤러 레이스의 슬라이딩 면은 담금질 연마 마무리로 평면 정도가 높고 경질로 마감되어 있습니다. 원통 굴림대는 2개의 롤러 레이스 사이에 서로 다르게 배치되어 있습니다. 스테이지가 구동할 때에는 롤러 레이스 사이의 여러개의 원통 굴림대가 움직이기 때문에, 정지 시에서 움직일 때의 마찰 변화(정지마찰과 동마찰 의 차)가 적고, 동작 시 미끄러짐이 발생하기 어렵습니다. 또한, 크로스롤러 가이드는 선접촉으로 하중을 지탱하기 때문에 볼 가이드 구조보다 강성이 좋습니다. 이 크로스 롤러 가이드는 독자적으로 설계되어 강한 강성과 높은 정도를 확보하였습니다. 또한 롤러 레이스와 원통 굴림대 간의 여압을 정밀하게 관리하여 높은 강성을 유지합니다.

2. 리니어 가이드

리니어 가이드 란, 레일과 순환하는 볼로 구성된 안내방식입니다.(그림-2 참조) 볼은 레일의 홈에서 구르고 LM 블록 끝에 설치된 엔드캡에서 회수되고, LM 블록 본체에 있는 순환구멍을 통해 다른 편 끝으로 돌아갑니다. 레일은 슬라이딩 면의 담금질 마감으로 인해 평면 정도가 높고 경질로 마감되어 있습니다. 볼은 슬라이딩 면이 만드는 원통 홈 사이에 배치되어 있습니다. 원통 면과 볼은 서로 4점에서 접촉하기 때문에 동작 시 미끄러짐이 발생하기 어렵습니다.