하기 모터별 엔코더 분해능 표를 참조해 주십시오.
파스텍 제품 Ezi-SERVO는 고정도 광학식 엔코더를 채용하고 있으며 기본 분해능 10,000[ppr] 분할부터 최대 32,000[ppr] 분할까지 선택 및 사용이 가능합니다. 1.8° 2상 스텝 모터를 채용하지만 Ezi-SERVO의 실제적인 위치 정도는 엔코더 분해능에 따르므로, 일반 2상, 5상 스텝 모터 및 타 Closed Loop 제품 대비 정밀도가 훨씬 높습니다.

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또한 1펄스 명령도 오차 없이 완벽하게 위치 추종을 하기 때문에 위치 정밀도가 높습니다. 특히, 20mm 모터의 경우는 4,000[ppr] 그리고 28mm 모터의 경우는 16,000[ppr] 엔코더를 채용함으로써, 최고의 정밀도를 보장합니다.

파스텍의 Ezi-SERVO는 기본 10,000[ppr]에서 최대 32,000[ppr]까지의 고분해능 엔코더를 채용하여 사용하고 있습니다. 또한 고정밀도 광학식 엔코더를 채용하여 높은 위치 정밀도를 보장합니다.

또한 엔코더를 채용하더라도 위치 정밀도가 아닌 탈조 방지 용도로 사용 되는 다수의 타 경쟁사 엔코더 기능 대비 (Semi-Closed Loop 기능) 파스텍 제품은 Full Closed Loop System 입니다. 이러한 높은 위치 정밀도를 보장하기 때문에 아래와 같은 다양한 고정밀도 스테이지들에서 최적의 성능을 발휘합니다.

위 그림에서 보시듯이 일반 스텝핑 모터 특히 고정밀도 스테이지에 다수 적용되는 5상 스텝 모터(위 그래프)에 대비해서도 Ezi-SERVO(아래 그래프)가 지령 대비 추종성이 약 10배 정도 높은 것을 확인 할 수 있습니다. 따라서 다양한 형태의 얼라인먼트 스테이지에 최적의 솔루션입니다.

또한 파스텍의 Ezi-SERVO는 외부 Linear Scale을 적용하거나 Linear Step Motor도 Closed Loop 제어할 수 있기 때문에 선택의 폭이 훨씬 높습니다. Real Time Full Closed Loop 제어 실현을 통해 Linear Scale 적용 및 그 동안 Open Loop 형태로 사용된 Linear Step Motor도 Closed Loop 제어하여 정밀도를  크게 향상 시킬 수 있습니다.

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